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新型平板显示先进封装光刻机产业化项目可行性研究报告
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- 【编号】
- 【名称】 新型平板显示先进封装光刻机产业化项目可行性研究报告
- 【用途】
- 【关键词】 新型平板显示装备
- 【页码】 页
- 【字数】 字
- 【图表数量】 个
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内容简介:
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新型平板显示装备产业化扩产建设项目,租赁空置厂房,租赁建筑面积30130.96m2,总投资125000 万元,主要生产新型平板显示装备,年产量合计30台。
报告目录:
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新型平板显示装备产业化扩产建设项目,租赁空置厂房,租赁建筑面积30130.96m2,总投资125000 万元,主要生产新型平板显示装备,年产量合计30台。
因公司发展需要,对已批复的原项目进行调整,租赁厂房由1、4-8 幢空置厂房调整为1~3 幢、4 幢2、3 层及5~8 幢厂房,租赁建筑面积由30130.96m2 调整为32171.96m2,新型平板显示装备年产量由30 台减至22 台。同时,将2 幢厂房的东侧区域预留,作为本项目(平板显示/先进封装光刻机产业化项目)的建设地点。
表1 扩建后厂区产品类型及年产量一览表
产品类型 原有量 本项目新增 本项目建成后 说明
曝光机 27台 8台 35台 型号为SSB260/10,设备 1 台 是平板显示领域专用的步进扫描投影光刻机,用于平板工艺曝光
曝光机 0台 18台 18台 型号为SSB500 系列,0台 1台 是先进封装领域专用的步进扫描投影光刻机,用于先进封装工艺曝光
激光封装用于AM-OLED(主动矩阵有机发光二极体面板)行业,
用于替代传统UV 胶封装,比传统封装的AM-OLED 寿命寿命更长
ModuleAOI(自动光学检测)1 台 0台 1台 用于在LCD 面板厂Cell 制造后端、模组制造阶段以及OLED 模组阶段进行Mura 检测,并且根据客户需求兼容点缺陷,线缺陷以及POL 缺陷检测,是面板制造中的重要设备之一。
长短寸检测设备 1 台 0台 1台 用于平板曝光工艺性能的量测,主要针对平板曝光中,CD、套刻、长寸,以及光刻胶厚度等关键工艺性能的量测。
合计 30台 26台 56台 /表2 本项目新增测试线内容及规模一览表
内容 测试目的 测试时间 测试方式 每日测试量 年测试次数
平板光刻工艺研发测试线为曝光机调试
提供测试晶圆 1h/d 间断式测试 24片 6000 片次表3 本项目扩建前后工程组成表
类别工程名称 原有项目 本项目扩建
主体工程厂房
1 幢9 层建筑,办公、备用厂房
2 幢厂房东侧预留区域
2 幢厂房为1 层建筑,为千级洁净车间,东侧预留区域从西往东设置先进封装光刻机集成场地、平板光刻工艺研发测试线(涂胶显影区)。
4 幢3 层建筑,1 层为洁净车间(千级,曝光机、激光封装设备集成组装区域)、周转区;2 层为洁净车间(千级,分系统组装区域、ModuleAOI 和长短寸检测设备集成组装区域);3 层为质量检验区域、物料仓储区域、空调机房、纯水机房、空压机房、配电机房
5 幢3 层建筑,备用厂房
6 幢1 层建筑,水泵房
7 幢1 层建筑,配电房
8 幢1 层建筑,厕所、垃圾房
公辅工程
给水 市政供水,依托厂区现有给水管网设施,年用量为1425t依托厂区现有给水管网设施,年用量为2753.7t
排水依托厂区现有排水设施,雨污分流;无生产废水产生。生活污水年产生量为1200t,排入民风路市政污水管网
依托厂区现有排水设施,雨污分流;生活污水排放量约为1687.5t/a,纯水制备尾水为261.425t/a,清洗废水年排放量为440.6t,经处理达标后排入市政污水管网
供电 市政电网供电,依托厂区内现有配电设施,年耗电量约为200 万度市政电网供电,依托厂区内现有配电设施,年耗电量约为50 万度
纯水机房依托厂区内纯水机房,位于3 幢厂房外南侧,内设一台纯水设备,纯水制备率70%
依托厂区内纯水机房,位于3 幢厂房外南侧,内设一台纯水设备,纯水制备率70%
空压机房 依托厂区内空压机房,位于3 幢厂房外南侧,内设两台空压机
依托厂区内空压机房,位于3 幢厂房外南侧,内设两台空压机表5 项目生产设备配置情况汇总
设备名称 数量 备注
堆高车 4台 /
液压车 4台 /
吊框支架定位工装 1台
用于曝光机组装
物镜框架吊装工装 1台
主基板辅助安装工装 1台
FLS-R 提升工装 1台
FLS 安装工装 1台
吊框安装平台车 1台
吊框微动工装 1台
照明支架定位工装 1台
掩模台Z 向对准工装 1台
掩模台水平向对准工装 1台
干涉仪对准工装 1台
迈克尔逊工装 1台
照明吊运工装 1台
照明对准工装 1台本项目组装生产线原辅材料一览表
产品名称 序号 设备名称 年用量(套件)
1 主基版 8
2 减震器 8
3 物镜框架 8
4 环境分系统组件 8
5 控制分系统组件 8
6 工作台分系统组件 8
7 掩摸台分系统组件 8
8 照明系统组件 8
9 掩模传输分系统组件 8
10 晶圆传输分系统组件 8
11 防护框架 8
12 防护面板 8
13 SC 控制柜 8
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